电子、通信与自动控制技术：半导体技术——半导体器件的温度测量

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电子、通信与自动控制技术：半导体技术——半导体器件的温度测量

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【出处】中国学术期刊文摘
【年份】2008
【卷号】第14卷
【期号】第2期
【页码】8-8
【 ISSN 】1005-8923
【关键词】半导体器件温度测量自动控制技术半导体技术电子通信科学与技术大学物理
【分类号】TN303;TH811
【摘要】测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法．这些方法大概可以分为三类：电学方法、光学方法和物理接触方法，介绍了各种方法的物理基础，并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度及需要特别注意的问题等进行了讨论．图6表1参51[第一段]
【文献类型】期刊

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