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学术ID
微电子装备信息化应用集成平台建设
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【 完成人 】
曹守启
；
王玮
；
聂骏
；
张扬
；
陈明
；
贺荣明
；
史平华
；
吴天兵
；
富红芳
；
郝敏琦
；
陶融
【完成单位】
上海微电子装备有限公司
【公布年份】
2006
【项目年度编号】
gkls045904
【 关键词 】
微电子装备集成平台信息化
【摘 要】
1、全生命周期的项目管理系统上海微电子装备有限公司暨国家光刻设备工程技术研究中心是国家“十五”863光刻机重...
【文献类型】
科技成果
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