基于电容式微传感器的设计理论

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【作者】桂冰
【作者单位】合肥万博学院
【出处】电子制作
【年份】2014
【卷号】第8期
【页码】278
【 ISSN 】1006-5059
【关键词】电子信息微传感器性能指标结构设计
【分类号】TP212
【摘要】随着科技水平的提升,电子信息产业在我国得到快速的发展,微传感器也被广泛研究与应用。本文针对电容式微传感器的应用现状,介绍电容式微传感器的工作原理,并详细的阐述了电容式微传感器性能指标的作用。针对各性能指标的不同要求,分析了电容式微传感器的支撑梁、驱动器和电容结构的设计原理。
【文献类型】期刊