基于MEMS技术的通信器件及其应用

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【作者】杨秀芸
【作者单位】北京城市学院理工学部北京100083
【出处】电子机械工程
【年份】2005
【卷号】第21卷
【期号】第4期
【页码】6-9+13
【 ISSN 】1008-5300
【关键词】微电子机械系统可调谐激光器光开关光互连器 RF开关
【分类号】TN702
【摘要】微电子机械系统是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题。以下简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等;重点综述了基于MEMS技术的通信器件及其应用。
【文献类型】期刊