微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信

分享到

【作者】王立斌
【出处】光机电信息
【年份】2004
【卷号】第21卷
【期号】第2期
【页码】30-33
【 ISSN 】1007-1180
【关键词】微电子机械系统光纤通信硅微机械光学元件
【分类号】TN405
【摘要】硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统.目前许多工业领域期待选用微/纳电子机械系统来解决技术上的问题.概括地说,是用标准的集成电路技术实现的.用硅晶片作基底沉积多层膜系,如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系,用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构.然而,这种结构并不是集成电路,还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构.在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件,诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机.在光纤...
更多 >>
【文献类型】期刊