微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究

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【获取途径】超星期刊网
【作者】郭方敏王伟明葛羽屏顾晓清李成诗纪江明
【作者单位】葛羽屏复旦大学,上海,200433 顾晓清上海电子信息职业技术学院电,子工程系,上海,201411 纪江明华东师范大学信息学院,上海,200062
【出处】新技术新工艺
【年份】2008
【卷号】第7期
【 ISSN 】1003-5311
【关键词】微机械电子系统MEMS 微流控有限元法围堰结构纳米多孔硅
【分类号】TN21TH703
【摘要】对新型微纳流控结构进行了分析,对相关材料进行了改进设想,对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究,并给出了实体照片反映其生长机理;从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析,并给出了相关模拟结果.
【基金】上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金
【文献类型】期刊